Ourstex 100FA能量色散型X射線熒光光譜儀的X射線管發射出初級X射線到樣品上，通過半導體探測器檢測樣品激發出的熒光X射線，從而對樣品元素進行無損定性和定量分析。半導體探測器采用帶電動冷卻系統的硅漂移探測器（SDD），無需液氮冷卻，結合數字信號處理器（DSP），使得測試結果具有高分辨力。為了提高分析性能，良好的光學激發系統使得半導體探測器達到了很高的能量分辨率和測量靈敏度。