AR膜缺陷檢測系統

產品型號：EX2001S
更新時間：2023-09-27

簡要描述：減反射增透膜（ Anti-Refletance），簡稱AR膜， 是在玻璃基片上鍍多層復合光學膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通過精心的膜層設計和膜厚嚴格控制，利用干涉效應減少基片表面反射。

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產品詳情

AR膜缺陷檢測系統是用于玻璃基板防反射涂層的缺陷檢查設備。用倒置顯微鏡和線型攝像機對透明基板的表面和背面進行高速掃描和檢測，并顯示檢測結果。

AR膜缺陷檢測系統特點和功能
1.目標基板大400mm，透明基板自動對焦檢測。
2.檢測缺陷：AR膠片基板上的白色異物（缺失）或黑色異物，檢測分辨率2.8μm（1.4μm）。
3.遠程控制復核檢查，攝像機/照明/物鏡變化/舞臺和焦點。
緊湊的設計，采用倒置光學系統，高性能的線相機和復查相機檢測。
檢驗艙門升起，將板子放在支架上進行高速清潔檢驗。配有水平FFU

AR膜缺陷檢測系統性能

正常模式：5倍，分辨率2.8μm，檢測面/寬度3mm×80mm/秒+α。
高性能模式：10倍，分辨率1.4μm：檢測面/寬度1.5mm×40mm/秒+α。
另有標記功能

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